A hátlapozási eljárás egy vagy több fém/ötvözet átmeneti réteg felvitele a porlasztó céltárgy nem -permetezett hátoldalára vákuumbevonattal és más technológiákkal a céltárgy és a hátlap közötti kötési szilárdság fokozása érdekében. Ez nemcsak a bevonat minőségét javítja, hanem meghosszabbítja annak élettartamát is.
Mi az a "hátlapozás"?
A porlasztó céltárgyak jellemzően „céltest” (a porlasztásos leválasztáshoz használt magkomponens, például alumínium-oxid-kerámia, réz vagy molibdén céltárgyak) és „hátlaplemez” (a céltárgy alátámasztására és hőelosztására használt hordozó, jellemzően rézből vagy alumíniumötvözetből) épül fel. A kettőt hegesztéssel vagy ragasztással kapcsolják össze.
A „hátlapozás” egy meghatározott anyag (általában jó elektromos vagy hővezető képességű fém, például réz, alumínium vagy ezüst) rétegének felvitelét jelenti a porlasztó céltárgy hátoldalára (a nem{0}}munkafelület a porlasztó felülettel szemben) fizikai gőzleválasztással (PVD) vagy más módszerekkel. Ez egy három-rétegű összetett szerkezetet hoz létre: "céltest - hátsó bevonatréteg - hátlap." Ez a bevonat nem vesz részt a tényleges vékonyréteg-leválasztási folyamatban, de jelentős hatással van a céltárgy általános teljesítményére és élettartamára.
A hátlapozás alapvető funkciói
1. Fokozott hőátadás és jobb hőelvezetés
A porlasztási folyamat során a célfelületet nagy-energiájú ionok bombázzák, és az energia körülbelül 70%-a hővé alakul, ami a célhőmérséklet meredek emelkedését okozza. A céltárgy hátoldalának nagy hővezető anyaggal való bevonásával jelentősen javítható a céltárgy és a hűtő hátlap közötti hőkontaktus, ami felgyorsítja a hőátadást a céltárgyról a hűtőrendszerbe, és hatékonyan szabályozza az üzemi hőmérsékletet.
2. Az elektromos érintkezés javítása és a kisülési stabilitás biztosítása
A mágnesporlasztás a célfelületen stabil plazma kisülés kialakításán alapul. A hátsó bevonat jellemzően nagy vezetőképességű anyagból készül, hogy csökkentse az érintkezési ellenállást, biztosítsa az egyenletes áramelosztást és javítsa a kisülési stabilitást. Ez különösen fontos a nagy-teljesítményű porlasztásnál (például HIPIMS).
3. A mechanikai kötés javítása és a célpont kiesésének megelőzése
A célokat általában keményforrasztással vagy mechanikus préseléssel rögzítik a fém hátlapokhoz. A céltárgy és a hátlap közötti mikroszkopikus rések vagy a gyenge kötés könnyen leváláshoz vagy leváláshoz vezethet hőciklus és mechanikai vibráció hatására. A hátsó bevonat "átmeneti rétegként" működik, javítva a nedvesíthetőséget és a tapadást a cél és a hátlap között.
4. Szennyezés és oxidáció megelőzése
Bizonyos célanyagok könnyen reagálnak a levegőben lévő oxigénnel vagy vízgőzzel magas hőmérsékleten, és oxidréteget képeznek, amely befolyásolja a porlasztás hatékonyságát és a film tisztaságát. A hátsó bevonat fizikai gátként szolgálhat, hogy elszigetelje a céltárgy hátát a külső környezettől, és megakadályozza az oxidációt és a szennyeződést. Különösen fontos a céltárgy tárolása és szállítása során.
Tipikus hát{0}}bevonási eljárások
1. Magnetron porlasztás:
Réz vagy alumínium céltárgyat használnak arra, hogy vezető réteget vigyenek fel a céltárgy hátoldalára. Ez a módszer alkalmas nagy-felületű alkalmazásokhoz, amelyek nagy egyenletességet igényelnek.
2. Galvanizálás vagy galvanikus bevonat:
Alkalmas vezetőképes aljzatokhoz és viszonylag alacsony költséggel{0}}, de a bevonat feszültségének gondos ellenőrzését igényli.
3. Termikus permetezés:
Ez a módszer, mint például a plazma szórás, alkalmas összetett formák vagy vastagrétegű lerakásra, de nagyobb felületi érdességhez vezethet.
A FANMETAL legnépszerűbb-értékesítési céljai
Gyakori tévhitek
1. Mindig jobb a vastagabb hát-bevonat?
Nem feltétlenül. A túl vastag hát{1}}bevonatok hőtágulási eltérést okozhatnak, ami repedéshez vezethet. A vastagságot általában néhány mikron és több tíz mikron között szabályozzák, ami az anyag hőtágulási együtthatója alapján optimalizálást igényel.
2. Minden célponthoz szükséges hát-bevonat?
Nem feltétlenül. Kis-léptékű, kis-teljesítményű vagy rövid ideig A nagy teljesítményt, nagy területeket és hosszú élettartamot igénylő ipari alkalmazásokban azonban a hát-bevonat szabványossá vált.
3. Befolyásolja-e a vissza-plating a célkihasználást?
Maga a hát-bevonat nem fogyaszt porlasztó anyagot. Ehelyett javítja az általános kihasználtságot a stabilitás és az élettartam növelésével.
Következtetés
Bár a porlasztó tárgyak hát-bevonata közvetlenül nem vesz részt a vékonyréteg-lerakódásban, kulcsfontosságú a stabil, hatékony és hosszú{2}}élettartamú porlasztási folyamatok biztosításához. A hővezetőképesség javításával, az elektromos érintkezés optimalizálásával, a kötési szilárdság növelésével és a szennyeződés megelőzésével átfogóan növeli a céltárgy élettartamát (2-3-szorosára), a bevonat minőségét (csökkenti a hibaarányt) és a folyamat stabilitását (csökkenti az állásidő kockázatát). A jövőbeli technológiai fejlesztések lehetővé teszik, hogy a magnetronos porlasztás felváltsa a hagyományos párologtatási eljárásokat a hátsó bevonat leválasztásánál, lehetővé téve a vastagság tűrését ±0,5 μm-en belül, és tovább optimalizálja a célteljesítményt. Ha bármilyen kérdése van a termék részleteivel vagy a szállítási idővel kapcsolatban, kérjük, forduljon hozzánk bizalommal a következő címen: admin@fanmetalloy.com. Várjuk üzenetét.
