A magnetronos porlasztó bevonat egy új típusú fizikai gőzbevonat, amely elektronágyús rendszert használ az elektronok kibocsátására és a bevonandó anyagra fókuszálására, így a porlasztott atomok az impulzuskonverzió elvét követik, így az anyag magasabb mechanikai tulajdonságokkal rendelkezik. tulajdonságait. A bevonandó anyagot porlasztó célpontnak nevezzük, amely főleg fémeket, ötvözetek és kerámiavegyületeket tartalmaz.A FANMETAL kiváló minőségű fémcélokat tud biztosítani vásárlóinak, mint pl.Tiszta króm porlasztásos célpont, Gold Sputtering Target,Titán alumínium porlasztó célpontés Réz Sputtering Target. Kérjük, küldjön nekünk egy e-mailt, hogy elmondja nekünk igényeit.
1. Tisztaság
A tisztaság a céltárgy egyik fő teljesítménymutatója, mert a céltárgy tisztasága nagyban befolyásolja a film teljesítményét. A gyakorlati alkalmazásokban azonban a céltárgy tisztasági követelményei is eltérőek. Például a mikroelektronikai ipar gyors fejlődésével a szilíciumlapkák mérete 6", 8"-ról 12"-re nőtt, a vezetékek szélessége pedig 0,5 um-ról 0-ra csökkent. .25um, 0.18um vagy akár 0.13um. Az előző céltisztaság 99,995 százalék volt. Meg tudja felelni a 0.35um IC folyamatkövetelményeinek, míg az elkészítése {{15 }}.18um vonalak a megcélzott tisztaság 99,999 százalékát vagy akár 99,9999 százalékát igénylik.
2. Szennyeződéstartalom
A lerakódott film fő szennyező forrásai a célanyagban lévő szennyeződések, valamint a pórusokban lévő oxigén és nedvesség. A különböző célokra szánt célanyagok eltérő követelményeket támasztanak a különböző szennyezőanyag-tartalommal szemben. Például a félvezetőiparban használt tiszta alumínium és alumíniumötvözet céltárgyak esetében speciális követelmények vonatkoznak az alkálifém-tartalomra és a radioaktív elemtartalomra.
3. Sűrűség
A megcélzott szilárd anyag pórusainak csökkentése és a porlasztott film teljesítményének javítása érdekében a céltárgynak általában nagyobb sűrűséggel kell rendelkeznie. A célpont sűrűsége nemcsak a porlasztási sebességet, hanem a fólia elektromos és optikai tulajdonságait is befolyásolja. Minél nagyobb a célsűrűség, annál jobb a film teljesítménye. Ezen túlmenően, a célpont sűrűségének és szilárdságának növelésével a célpont jobban ellenáll a porlasztási folyamat során fellépő hőterhelésnek. A sűrűség a cél egyik kulcsfontosságú teljesítménymutatója is.
4. Szemcseméret és szemcseméret-eloszlás
Általában a célanyag egy polikristályos szerkezet, a szemcseméret pedig mikrontól milliméterig terjedhet. Ugyanazon célanyagnál a finomszemcsés céltárgy porlasztási sebessége gyorsabb, mint a durva szemcsés céltárgyé; és a porlasztással leválasztott film vastagságeloszlása kisebb szemcseméret-különbséggel (egyenletes eloszlás) egyenletesebb .
