A fémtárgyak egyetlen fémből vagy fémötvözetből állnak, amelyet speciálisan feldolgoztak és finomítottak, hogy megfeleljenek a nagy tisztaság és a specifikus mikroszerkezet követelményeinek. A közönséges fémcélpontok közé tartozik a réz, alumínium, ezüst, titán és ezek ötvözetei. A fémcélpontokat egyedi fizikai és kémiai tulajdonságaik alapján választják ki, hogy optimalizálják az olyan folyamatok teljesítményét és hatékonyságát, mint az ionimplantáció és a vékonyréteg-leválasztás. Cégünk tud biztosítaniTitanium Ti porlasztó célpont, 99,95% cirkónium porlasztó célpontokés krómcélok és egyéb fémcélok, ha szüksége van, kérjük, írjon nekünk.
A kerámia céltárgyak nagy tisztaságú nemfémes vegyületekből állnak, beleértve az oxidokat, szilikátokat, nitrideket és így tovább. Ezeket a célpontokat magas hőmérsékletű szinterezési módszerekkel állítják elő, hogy összetett kémiai és fizikai tulajdonságokkal rendelkező szilárd anyagokat képezzenek. Egyedülálló összetételük miatt pótolhatatlan helyet biztosítanak a high-tech alkalmazásokban, különösen a félvezetőgyártásban, az optoelektronikai anyagokban és a vékonyréteg-technológiában.
1. Költség és előkészítési nehézség
A kerámia céltárgyak elkészítése nem csak a magas hőmérsékletű szinterezési folyamat miatt nehézkes, hanem azért is, mert ellenőrizni kell a tisztaságát és a mikroszerkezetét a végtermék teljesítményének biztosítása érdekében. Ezzel szemben a fémtárgyak olvasztási és feldolgozási folyamata viszonylag egyszerű, nagy plaszticitású, könnyen formázható és feldolgozható.
Költség szempontjából a fémtárgyak általában olcsóbbak, mint a kerámia célok, a fémkivonás, -feldolgozás és -előkészítés viszonylag egyszerű folyamata miatt. A kerámiacéltárgyak elkészítése azonban bonyolultabb folyamatot igényel
2. Fizikai és kémiai tulajdonságok
Egyedülálló kémiai szerkezete miatt a kerámia céltárgyak általában magasabb keménységgel és olvadásponttal rendelkeznek, így stabilabbak magas hőmérsékleten és alkalmasak magas hőmérsékletű filmleválasztási eljárásokra. Különösen magas hőmérsékletű vagy korrozív környezeti alkalmazásoknál. Nem reagálnak könnyen más elemekkel, megőrizve az anyag tisztaságát és stabilitását.
A fémtárgyak számos összetett forma-előkészítési követelményre alkalmasak, különösen a kerámia céltárgyakénál jóval magasabb hő- és elektromos vezetőképesség tekintetében, ami előnyösebbé teszi azokat a jó hőkezelést és elektromos tulajdonságokat igénylő alkalmazásokban. Bizonyos körülmények között azonban oxidálódhat vagy korrodálhat.
3. Alkalmazási mező
A fémtárgyakat széles körben alkalmazzák olyan helyzetekben, ahol jó vezetőképesség és hővezetőképesség szükséges, például vezetőképes fóliák, tükörreflexiós filmek és mágneses anyagok gyártása során. Kiváló plaszticitásuk előnyt jelent a bonyolult formájú céltáblák gyártásában is.
Nagy tisztaságuk, kémiai stabilitásuk és magas olvadáspontjuk miatt a kerámia céltárgyak egyedülállóan alkalmazhatók a félvezetőgyártásban, a magas hőmérsékletű vékonyréteg-leválasztásban és a fotoelektromos anyagok előkészítésében. Ezek az alkalmazások gyakran rendkívül magas teljesítmény-szabványokkal rendelkező anyagokat igényelnek.
