1. Tisztaság
A titán céltárgy tisztasága nagyban befolyásolja a porlasztott filmek tulajdonságait. Minél nagyobb a céltárgy tisztasága, annál kevesebb szennyezőelem-részecske van a porlasztott filmben, és annál jobb a film teljesítménye (például korrózióállóság, optikai és elektromos tulajdonságok). A gyakorlati alkalmazásokban a különböző célokra szolgáló titán céltárgyak tisztasági követelményei eltérőek. . Például az általános dekoratív bevonatok céltárgyainak tisztasági követelményei nem szigorúak, míg az integrált áramkörök, kijelzőtestek és más területek céltárgyainak tisztasági követelményei sokkal magasabbak, általában 99,999 százalék körüli vagy afeletti.
2. Átlagos szemcseméret
Általában a titán céltárgy polikristályos szerkezetű, és a szemcseméret mikrontól milliméterig terjedhet. A finomszemcsés céltárgy porlasztási sebessége gyorsabb, mint a durvaszemcsés céltárgyé. A permetezett fólia vastagságeloszlása is viszonylag egyenletes. Az integrált áramkörök titáncéltárgyainak átlagos szemcsemérete általában 30 μm-en belül kell, hogy legyen, az ultrafinom szemcsés titáncéltárgyak átlagos szemcsemérete pedig 10 μm alatti.
3. Kristály orientáció
A titán hatszögletű szerkezettel rendelkezik. A porlasztás során a titán célatomok könnyen porlasztásra kerülnek az atomok hatszögletű elrendezésének irányában. Ezért a legmagasabb porlasztási sebesség elérése érdekében lehetőség van a porlasztási sebesség növelésére a cél kristályszerkezetének megváltoztatásával. porlasztási sebesség. A titán céltárgy kristályosodási iránya szintén nagy hatással van a porlasztott filmréteg vastagságának egyenletességére, és a lapos kijelző és a dekoratív bevonat filmmérete viszonylag vastag, így a megfelelő titán céltárgy szemcse orientációjára vonatkozó követelmények viszonylag alacsony.
4. Geometria és méret
Ez elsősorban a feldolgozási pontosságban és a feldolgozás minőségében tükröződik, mint például a feldolgozási méret, a felület síksága, az érdesség stb. A kis vastagság befolyásolja a cél élettartamát; a túl durva tömítőfelület és tömítőhorony vákuumproblémákat okoz a céltárgy felszerelése után; a céltárgy porlasztó felületének érdesítésével a céltárgy felülete tele van kiálló hegyekkel, a csúcshatás hatására ezeknek a felemelt hegyeknek a potenciálja jelentősen megnő, ezáltal lebontja a dielektromos kisülést. A túl nagy kiemelkedés azonban rontja a porlasztás minőségét és stabilitását.
Cégünk titánötvözeteket tud biztosítani, mint plTitán alumínium porlasztó célpontokésTitanium Ti porlasztó célpont, valamint különböző tisztaságú és alakú titán céltárgyakat, valamint testreszabott szolgáltatásokat is elfogad. Ha szükséges, forduljon hozzánk e-mailben.
