Szerkezeti szempontból a céltábla főként két részből áll: "céltábla" és "hátlap". A céldarab a nagy sebességű ionsugárral bombázott célanyag. Ez a porlasztó céltárgy központi része, és nagy tisztaságú fémet és szemcse orientációt tartalmaz. A hátlap főként a porlasztó célpont rögzítésének szerepét tölti be, és magában foglalja a hegesztési folyamatot. Jelenleg a közönséges porlasztó célhátlap anyagok elsősorban oxigénmentes rézből, rézötvözetből, molibdénből és rozsdamentes acélcső hátlap anyagokból állnak.
1. A hátlap felszerelésének okai
A célszerelvény egy összetett porlasztási teljesítményű céldarabból és egy hegesztéssel a céldarabbal kombinált hátlapból áll. A porlasztás folyamatában a célszerelvény kemény munkakörnyezetben van. A hátlap egyik oldalát egy bizonyos nyomású hűtővíz erősen hűti, míg a céldarab egyik oldala magas hőmérsékletű vákuumkörnyezetben van, így a célszerelvény ellentétes oldalain hatalmas nyomáskülönbség képződik. Ezenkívül a céltárgy egyik oldalát különféle részecskék bombázzák nagyfeszültségű elektromos térben és erős mágneses térben, és sok hő keletkezik.
Ilyen zord környezetben a fóliaminőség stabilitása és a célszerelvény minősége érdekében a célhasáb és a hátlap minősége, valamint a hegesztési kötési arány egyre nagyobb igényeket támaszt, különben könnyen vezethető a célszerelvény deformálódásához és megrepedéséhez meleg körülmények között, ami befolyásolja a film minőségét, sőt a porlasztó alap károsodását is okozza.
2. Anyagok a hátlap gyártásához
A hátlap elsősorban a porlasztó célanyag rögzítésére szolgál, és jó elektromos és hővezető képességgel kell rendelkeznie. A magnetronos porlasztásos bevonatolási folyamat során a céltárgynak ki kell bírnia a hátoldali hűtővíz nyomását és az elülső vákuum negatív nyomását is. A rézből és rézötvözetből készült hátlapokat gyakran választják céllécnek, mivel ezek a következő előnyökkel rendelkeznek:
(1) Magas hővezető képesség: A porlasztási folyamat során a célfelületen keletkező hőt hatékonyan tudja vezetni a hűtőrendszerbe. Ez segít stabilan tartani a céltárgy hőmérsékletét, és megakadályozza a célpont repedését vagy túlmelegedés miatti teljesítményromlását.
(2) Nagy elektromos vezetőképességgel rendelkezik: javíthatja az áramvezetési hatékonyságot a porlasztási folyamat során. Ez segít csökkenteni az ellenállási veszteségeket a célpont és a magnetron porlasztórendszer között, ezáltal javítva a porlasztási hatékonyságot.
(3) Nagy mechanikai szilárdság: stabil támogatást nyújthat. Ez segít abban, hogy a céltárgy ne repedjen meg rezgés vagy feszültség következtében a porlasztási folyamat során.
(4) Egyenletes porlasztás: A réz hátlap javíthatja a cél elektromágneses téreloszlását, ezáltal egyenletesebb porlasztást érhet el és javíthatja a film egyenletességét.
(5) A céltárgy élettartamának meghosszabbítása: A réz hátlap magas hővezető- és elektromos vezetőképességének köszönhetően a céltárgy üzemi hőmérséklete és ellenállásvesztesége csökkenthető, ezáltal lassítható a céltárgy kopása és meghosszabbítható. élettartam.
3. Hátlap kötési folyamat
(1) Kötés előtt előkezelje a céltárgy felületét és a hátsó célpontot;
(2) Rögzítse a hátsó céltáblát a fűtőasztalra, helyezze a céltáblát a hátlapra, és melegítse fel a kötési hőmérsékletre;
(3) Metalizálja a céltárgyat és a hátsó céltáblát, és forrassza a céltárgyat a réz hátlaphoz;
(4) Kösse össze a céltárgyat és a hátsó céltáblát, helyezzen ellensúlyt a céltárgy felületére a réz hátlaptól távol, és távolítsa el az ellensúlyt, miután a céltárgy lehűlt;
(5) Hűtő utófeldolgozás.
